发明名称 无尘输送系统
摘要 本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备:外壳,构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口,设置于上述地板面上,若封闭上述第一开口和上述第二开口,则在内部包围密闭空间;输送装置,构成为设置于上述外壳内,并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物;以及送风装置,设置于上述外壳内,净化上述密闭空间内的空气,并供给被净化了的空气。
申请公布号 CN101796625A 申请公布日期 2010.08.04
申请号 CN200880105255.7 申请日期 2008.08.22
申请人 株式会社IHI 发明人 平田贤辅;和田芳幸;田中刈入;村山晋
分类号 H01L21/677(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;B65G51/03(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 张敬强
主权项 一种输送系统,用于设置在地板面上来输送对象物,其特征在于,具备:外壳,构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口,设置于上述地板面上,若封闭上述第一开口和上述第二开口,则在内部包围密闭空间;输送装置,构成为设置于上述外壳内,且从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物;以及送风装置,设置于上述外壳内,净化上述密闭空间内的空气,并供给被净化了的空气。
地址 日本东京都