| 发明名称 | 石英方箱 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及“石英方箱，”涉及微电子产业集成电路芯片制造业中的一种石英制品，包括内层清洗槽和外层接液槽，其特征在于：内层清洗槽顶边开有溢流槽口，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。本实用新型石英方箱中的清洗槽设计有溢流槽口使溢出的清洗液能顺畅地的流入接液槽内，且定位结构设计简单，与生产线配合好。本实用新型石英方箱设计合理，可以很好的配合生产线进行高强度工作量的清洗。 | ||
| 申请公布号 | CN201537606U | 申请公布日期 | 2010.08.04 |
| 申请号 | CN200920223140.X | 申请日期 | 2009.09.28 |
| 申请人 | 北京凯德石英塑料制品有限公司 | 发明人 | 张忠恕;杨继盛;陈强;刘念云;张连兴;王福龙;刘增;邢瑜;吕炳益;韦冬寒;刘文静 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人 | 胡敬红 |
| 主权项 | 石英方箱，包括内层清洗槽和外层接液槽，其特征在于：内层清洗槽顶边开有溢流槽口，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。 | ||
| 地址 | 101109 北京市通州区漷县工业开发区漷兴三街5号 | ||