发明名称
摘要
申请公布号 JP4516318(B2) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 JP20040000651 申请日期 2004.01.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/324 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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