发明名称
摘要
申请公布号 JP4516445(B2) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 JP20050042274 申请日期 2005.02.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/304 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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