发明名称 一种对半导体材料进行霍尔测试的装置
摘要 本发明公开了一种对半导体材料进行霍尔测试的装置,该装置包括第一单刀双掷继电器(A)、第二单刀双掷继电器(B)、第三单刀双掷继电器(C)、第四单刀双掷继电器(D)、第五单刀双掷继电器(a)、第六单刀双掷继电器(b)、第七单刀双掷继电器(c)和第八单刀双掷继电器(d)。利用本发明,提高了测试的效率,最大限度的减少测试中人为操作带来的误差。
申请公布号 CN101793867A 申请公布日期 2010.08.04
申请号 CN200910244534.8 申请日期 2009.12.30
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 李弋洋;李成基;曾一平
分类号 G01N27/72(2006.01)I;G01R33/12(2006.01)I 主分类号 G01N27/72(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周长兴
主权项 一种对半导体材料进行霍尔测试的装置,其特征在于,该装置包括第一单刀双掷继电器(A)、第二单刀双掷继电器(B)、第三单刀双掷继电器(C)、第四单刀双掷继电器(D)、第五单刀双掷继电器(a)、第六单刀双掷继电器(b)、第七单刀双掷继电器(c)和第八单刀双掷继电器(d),其中:第一单刀双掷继电器(A)分别连接于待测样品的第一电极连接端(1)、待测样品的第二电极连接端(2),以及第一单刀双掷继电器(A)与第二单刀双掷继电器(B)的连接端(5);第二单刀双掷继电器(B)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、第一单刀双掷继电器与第二单刀双掷继电器的连接端(5),以及电压表的正连接端(V+);第三单刀双掷继电器(C)分别连接于待测样品的第二电极连接端(2)、第三单刀双掷继电器(C)与第四单刀双掷继电器(D)的连接端(6),以及电压表的负连接端(V-);第四单刀双掷继电器(D)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、待测样品的第四电极连接端(4),以及第三单刀双掷继电器(C)与第四单刀双掷继电器(D)的连接端(6);第五单刀双掷继电器(a)分别连接于待测样品的第一电极连接端(1)、待测样品的第二电极连接端(2),以及第三单刀双掷继电器(a)与第四单刀双掷继电器(b)的连接端(7);第六单刀双掷继电器(b)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、第三单刀双掷继电器(a)与第四单刀双掷继电器(b)的连接端(7),以及电流源的正连接端(I+);第七单刀双掷继电器(c)分别连接于待测样品的第二电极连接端(2)、第三单刀双掷继电器(c)与第四单刀双掷继电器(d)的连接端(8),以及电流源的负连接端(I-);第八单刀双掷继电器(d)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、待测样品的第四电极连接端(4),以及第三单刀双掷继电器(C)与第四单刀双掷继电器(D)的连接端(6)。
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