发明名称 |
一种对半导体材料进行霍尔测试的装置 |
摘要 |
本发明公开了一种对半导体材料进行霍尔测试的装置,该装置包括第一单刀双掷继电器(A)、第二单刀双掷继电器(B)、第三单刀双掷继电器(C)、第四单刀双掷继电器(D)、第五单刀双掷继电器(a)、第六单刀双掷继电器(b)、第七单刀双掷继电器(c)和第八单刀双掷继电器(d)。利用本发明,提高了测试的效率,最大限度的减少测试中人为操作带来的误差。 |
申请公布号 |
CN101793867A |
申请公布日期 |
2010.08.04 |
申请号 |
CN200910244534.8 |
申请日期 |
2009.12.30 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
李弋洋;李成基;曾一平 |
分类号 |
G01N27/72(2006.01)I;G01R33/12(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/72(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周长兴 |
主权项 |
一种对半导体材料进行霍尔测试的装置,其特征在于,该装置包括第一单刀双掷继电器(A)、第二单刀双掷继电器(B)、第三单刀双掷继电器(C)、第四单刀双掷继电器(D)、第五单刀双掷继电器(a)、第六单刀双掷继电器(b)、第七单刀双掷继电器(c)和第八单刀双掷继电器(d),其中:第一单刀双掷继电器(A)分别连接于待测样品的第一电极连接端(1)、待测样品的第二电极连接端(2),以及第一单刀双掷继电器(A)与第二单刀双掷继电器(B)的连接端(5);第二单刀双掷继电器(B)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、第一单刀双掷继电器与第二单刀双掷继电器的连接端(5),以及电压表的正连接端(V+);第三单刀双掷继电器(C)分别连接于待测样品的第二电极连接端(2)、第三单刀双掷继电器(C)与第四单刀双掷继电器(D)的连接端(6),以及电压表的负连接端(V-);第四单刀双掷继电器(D)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、待测样品的第四电极连接端(4),以及第三单刀双掷继电器(C)与第四单刀双掷继电器(D)的连接端(6);第五单刀双掷继电器(a)分别连接于待测样品的第一电极连接端(1)、待测样品的第二电极连接端(2),以及第三单刀双掷继电器(a)与第四单刀双掷继电器(b)的连接端(7);第六单刀双掷继电器(b)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、第三单刀双掷继电器(a)与第四单刀双掷继电器(b)的连接端(7),以及电流源的正连接端(I+);第七单刀双掷继电器(c)分别连接于待测样品的第二电极连接端(2)、第三单刀双掷继电器(c)与第四单刀双掷继电器(d)的连接端(8),以及电流源的负连接端(I-);第八单刀双掷继电器(d)分别连接于待测样品的第三电极连接端(3)、待测样品的第四电极连接端(4),以及第三单刀双掷继电器(C)与第四单刀双掷继电器(D)的连接端(6)。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |