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摘要
申请公布号
JP4515951(B2)
申请公布日期
2010.08.04
申请号
JP20050104234
申请日期
2005.03.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/76;H01L27/08
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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