| 发明名称 | 一种铝钼蚀刻液 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种铝钼蚀刻液，其特征是它包括以下重量百分比的组份：磷酸60～80、硝酸1～10、醋酸钠1～10、非离子型表面活性剂聚氧乙烯烷基苯基醚、0.1～0.5、水10～30。本发明具有蚀刻角度和蚀刻量能满足客户要求和提高蚀刻产品优良率的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101792907A | 申请公布日期 | 2010.08.04 |
| 申请号 | CN201010139060.3 | 申请日期 | 2010.04.01 |
| 申请人 | 江阴市江化微电子材料有限公司 | 发明人 | 殷福华;栾成;邵勇;朱龙 |
| 分类号 | C23F1/20(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人 | 何军 |
| 主权项 | 一种铝钼蚀刻液，其特征是它包括以下重量百分比的组份磷酸 60～80硝酸 1～10醋酸钠 1～10非离子型表面活性剂聚氧乙烯烷基苯基醚 0.1～0.5水 10～30。 | ||
| 地址 | 214423 江苏省江阴市周庄镇三房巷开发区山泉路18号 | ||