压电/电致伸缩膜型元件的制造方法

摘要

本发明提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，该制造方法能够防止空腔的平面位置与构成由电极膜以及压电/电致伸缩体膜层叠所得振动层叠体的膜的平面位置的偏离。在制造具有基板以及由在基板的表面对应于所述空腔的平面位置而设置的由下部电极膜、压电/电致伸缩膜以及上部电极膜层叠得到的振动层叠体的压电/电致伸缩膜型元件时，以在空腔里填充有遮光剂的基板为掩模通过光刻法形成下部电极膜。其后，向着下部电极膜使压电/电致伸缩材料的粉末电泳来形成压电/电致伸缩体膜的同时，以压电/电致伸缩体膜为掩模通过光刻法形成上部电极。也可以以下部电极膜为掩模通过光刻法形成压电/电致伸缩体膜。

主权项

一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，所述压电/电致伸缩膜型元件具有形成有空腔的基板、在所述基板的第1主面上与所述空腔的平面位置对应而设置的由电极膜和压电/电致伸缩膜层叠而成的振动层叠体；所述方法具有下述工序：(a)在所述基板的第1主面形成第1感光膜的工序；(b)从所述基板的第2主面一侧照射光，将转录有所述空腔的平面形状的潜影描画于所述第1感光膜的工序；(c)通过显影除去在形成有所述空腔区域形成的所述第1感光膜的工序；(d)在除去所述第1感光膜的区域形成构成所述振动层叠体的最下层的膜的工序；(e)将残存于未形成所述空腔的区域的所述第1感光膜除去的工序。