| 发明名称 | 钽溅射环组件 | ||
| 摘要 | 一种钽溅射环组件，包括具有开口的环形本体，所述环形本体在开口位置具有弧形角，所述弧形角的弧形半径大于6.35mm。所述钽溅射环组件可以解决现有的钽溅射环组件在弧形角区域容易出现剥落现象而影响薄膜沉积工艺的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN201538814U | 申请公布日期 | 2010.08.04 |
| 申请号 | CN200920266358.3 | 申请日期 | 2009.11.12 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;刘庆 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 吴靖靓;李丽 |
| 主权项 | 一种钽溅射环组件，包括具有开口的环形本体，所述环形本体在开口位置具有弧形角，其特征在于，所述弧形角的弧形半径大于6.35mm。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||