主权项 |
一种测定装置测定离轴抛物面镜点聚焦能力的方法,其特征在于包括下列步骤:①设置离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置:包括一台He-Ne激光器(1),沿该He-Ne激光(1)出射激光束方向依次设置扩束器(2)、软边光阑(3)和待测的离轴抛物面镜(4),在该离轴抛物面镜(4)的反射光束方向依次设置有一透射式标准叉丝(7)和显微物镜(6),该显微物镜(6)位于所述的离轴抛物面镜(4)的焦点,所述的焦点成像于面阵CCD(9)上,该面阵CCD(9)的输出端接计算机(10),所述的离轴抛物面镜(4)固定在一五维电动调整架上;②通过电机控制所述的离轴抛物面镜(4)的倾斜俯仰,以保证入射光束与出射光束处于同一水平面上;③所述的显微物镜(6)固定在光路上的平移台上,以供所述的显微物镜(6)沿光路移动调整,将所述的离轴抛物面镜(4)的反射光束的焦点在所述的面阵CCD(9)上获得清晰的图像;④叉丝定标:开启所述的He-Ne激光器(1)、面阵CCD(9)和计算机(10),将所述的标准叉丝(7)放在所述的显微物镜(6)之前,通过所述的显微物镜(6)放大后也成像在所述的面阵CCD(9)上,通过计算机(10)采集,获得He-Ne激光对所述的标准叉丝(7)定标图像,假设30微米直径的标准叉丝(7)所占像素值为A,叉丝与水平方向成60°;⑤为了防止光束强度过大,使所述的面阵CCD(9)饱和,在所述的面阵CCD(9)和所述的显微物镜(6)之间放置衰减片(8);⑥焦斑信息获取:计算机(10)采集所述的离轴抛物面镜(4)的焦斑强度二维分布,焦斑成像在所述的面阵CCD(9)上所占像素值为B,计算机(10)经下式计算,即得出半高全宽的焦斑直径D为:D=30*B/A微米;⑦焦斑强度三维分布信息:沿所述的离轴抛物面镜(4)的反射光束前后移动所述的显微物镜(6),计算机(10)逐一采集所述的面阵CCD(9)上焦斑成像的二维强度分布矩阵,将不同焦深位置处的二维强度分布矩阵信息合成,获得焦斑的三维图像,即所述的离轴抛物面镜(4)的点聚焦能力的三维信息。 |