Sample travelling stage with flexure mechanism module to absorb the deformation of slide,申请号KR20080005417-传众专利搜索

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发明名称	Sample travelling stage with flexure mechanism module to absorb the deformation of slide
摘要
申请公布号	KR100973530(B1)	申请公布日期	2010.08.02
申请号	KR20080005417	申请日期	2008.01.17
申请人		发明人
分类号	H01L21/677	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
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