载台装置

摘要

【课题】提供一种具备即使进行连续运转的情况，对于;导引轨道的梁杆的直交度也可维持于所设定的预定范围内的功能的载台装置。;【解决手段】本发明，是适用于，在定盘上，具备使2;个移动体各别朝X方向滑动可能的2个驱动源，2个移动体的至少一方是具备由朝X方向延伸的导引构件所导引，在这些2个移动体之间使导引构件直交地横跨且与2个移动体同时移动可能的梁杆的载台装置。本载台装置是进一步，具备：供检测2个移动体的各别的位置用的2个位置检测器；及供限定2个移动体的各别的原点位置用的2个原点检测器；及接受来自2个位置检测器、2个原点检测器的检测讯号，进行供控制2个驱动源用的2个移动体的位置控制用的控制装置；控制装置，是藉由也具有将2个驱动源个别控制使梁杆体对于与X方向垂直的偏旋转轴旋转的偏轴旋转控制功能，在该载台装置的起动时即使梁杆体的直交度变化的情况，梁杆体也可对于导引构件维持于预定范围内的直交度。

主权项

1.一种载台装置，具备可使2个移动体各别朝X方向滑动的由线形马达所构成的2个驱动源，2个移动体的至少一方是具备由朝前述X方向延伸的导引构件所导引，在这些2个移动体之间使前述导引构件直交地横跨且可与2个移动体同时移动的梁杆，其特征为，具备：供检测前述2个移动体的各别的位置用的2个位置检测器、及供限定前述2个移动体的各别的原点位置用的2个原点检测器、及接受来自前述2个位置检测器、2个原点检测器的检测讯号，进行供控制前述2个驱动源用的前述2个移动体的位置控制用的控制装置，前述控制装置，具有偏轴旋转控制功能，使用前述2个位置检测器、2个原点检测器的资料将前述2个驱动源个别控制，使前述梁杆体对于与前述X轴或Y轴方向垂直的偏旋转轴旋转，前述控制装置，是藉由该偏轴旋转控制功能，在该载台装置的连续运转后的再度起动时，实行供修正对于前述梁杆体的前述导引构件的直交度的偏离用的控制，且直到进入预定范围内为止反覆实行该控制。 ;2.如申请专利范围第1项的载台装置，其中，前述偏轴旋转控制功能是藉由内藏于前述控制装置的偏轴旋转控制程式实行，为了将初期值资料给与该偏轴旋转控制程式，而在该载台装置停止状态就事先测量前述梁杆体的直交度，依据获得的直交度使前述梁杆体成为前述预定范围内的直交度所需要的修正值△y1作为目标值记忆于前述记忆装置，前述偏轴旋转控制程式，是实行：在该载台装置的起动时在前述梁杆体的直交度变化的状态下将前述2个移动体驱动至可被前述2个原点检测器检测的位置为止，在那时算出由前述2个位置检测器获得的2个座标资料的差△y3的步骤；及使用前述修正值△y1及前述差△y3只有(△y1-△y3)分使前述梁杆体对于前述偏旋转轴旋转的步骤。 ;3.如申请专利范围第2项的载台装置，其中，为了将初期值资料给与前述偏轴旋转控制程式，更在该载台装置当时设置状态的状态下进行驱动直到前述移动体可被前述2个原点检测器检测的位置为止，在那时算出由前述2个位置检测器获得的2个座标资料的差△y0并记忆于前述控制装置内的记忆装置，前述修正值△y1是依据前述差△y0决定。;[第1图]说明本发明的供校对直交度用的实行作业的图。;[第2图]说明本发明的载台装置的连续运转后，进行机械重设时的实行作业的图。;[第3图]说明接着本发明的第2图的作业的实行作业的图。;[第4图]说明本发明所使用的原点检测器为光学式检测器的情况时的直交度的精度的图。;[第5图]说明本发明所使用的原点检测器为磁性式检测器的情况的直交度的精度的图。;[第6图(a)(b)]说明本发明所适用的载台装置的一例的图。