发明名称 METHOD FOR FORMING AN ISOLATION LAYER IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100973223(B1) 申请公布日期 2010.07.30
申请号 KR20070121369 申请日期 2007.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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