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发明名称
METHOD FOR FORMING AN ISOLATION LAYER IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100973223(B1)
申请公布日期
2010.07.30
申请号
KR20070121369
申请日期
2007.11.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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