Dämpfungsvorrichtung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Dämpfungsvorrichtung, insbesondere für ein optisches Element (1) einer Projektionsbelichtungsanlage, umfassend mindestens zwei voneinander beabstandet angeordnete Schwingungstilger (3), wobei die Schwingungstilger (3) jeweils mindestens eine Dämpfermasse (30) und mindestens ein Dämpfungselement (32) aufweisen und die Dämger (3) mittels mindestens einem Verbindungselement miteinander verbunden sind. Die Erfindung betrifft weiter ein optisches Element (1) einer Projektionsbelichtungsanlage und eine Projektionsbelichtungsanlage.