| 发明名称 |
Vorrichtung zur Erzeugung von Plasma |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59915176(D1) |
申请公布日期 |
2010.07.29 |
| 申请号 |
DE19995015176 |
申请日期 |
1999.03.13 |
| 申请人 |
OERLIKON DEUTSCHLAND HOLDING GMBH |
发明人 |
LIEHR, MICHAEL DR. |
| 分类号 |
H05H1/24;H05H1/46;H01J37/00;H01J37/32;H05H1/30 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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