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<p>Ein Drehratensensor umfasst ein Substrat mit einer Substratoberfläche, ein über der Substratoberfläche angeordnetes erstes bewegliches Element mit einem Antriebsrahmen und einer ersten Detektionsmasse, eine erste Elektrode, die beabstandet unterhalb der ersten Detektionsmasse angeordnet und mit der Substratoberfläche verbunden ist und eine zweite Elektrode, die beabstandet oberhalb der ersten Detektionsmasse angeordnet und mit der Substratoberfläche verbunden ist. Dabei ist der Antriebsrahmen über mindestens eine Antriebsfeder mit dem Substrat verbunden, die Detektionsmasse über mindestens eine Detektionsfeder mit dem Antriebsrahmen verbunden, das erste bewegliche Element zu einer Antriebsschwingung parallel zur Substratoberfläche anregbar und die erste Detektionsmasse senkrecht zur Substratoberfläche auslenkbar.</p> |
