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发明名称 Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE60236710(D1) 申请公布日期 2010.07.29
申请号 DE2002636710 申请日期 2002.04.25
申请人 JSR CORP. 发明人 NAGAI, TOMOKI;NUMATA, JUN;KOBAYASHI, EIICHI;SHIMOKAWA, TSUTOMU
分类号 G03F7/004;G03F7/039;C08F12/24;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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