| 摘要 |
<p>【課題】ミラー等の反射面の歪みを、高精度に検査する歪み検査装置に関するものであり、歪み量の検査とともに、歪みの方向も検査することができる歪み検査装置を提供する。【解決手段】検査対象に対して複数の平行線パターンを投射する投射手段と、前記投射手段により投射された平行線パターンによって検査対象から反射された反射平行線パターンを読み取る読取手段と、前記読取手段による反射平行線パターンに基づいて作成した測定パターンデータ３１と予め定めた基準パターンデータ３０とを比較演算するデータ処理手段と、前記データ処理手段の結果に基づいて前記検査対象の状態を判定するようにした判定手段を有する。【選択図】図４</p> |
