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发明名称 Verfahren zum Trockenätzen für Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE60142377(D1) 申请公布日期 2010.07.29
申请号 DE20016042377 申请日期 2001.04.10
申请人 PANASONIC CORP. 发明人 YAMASHITA, TAKESHI;YAMAGUCHI, TAKAO;NIKO, HIDEO
分类号 H01L21/00;H01J1/00;H01L21/3065;H01L21/465 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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