Chuck und Verfahren zur Aufnahme und Halterung dünner Testsubstrate

摘要

Die Erfindung betrifft einen Chuck 1 zur Aufnahme und Halterung von dünnen Testsubstraten 2. Solch ein Chuck 1 umfasst eine Auflagefläche 5, auf welcher ein Testsubstrat 2 auflegbar ist, und Haltemittel im Randbereich der Auflagefläche 5 zur Befestigung eines aufgelegten Testsubstrats 2. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Chuck 1 und ein Verfahren zur Halterung dünner Testsubstrate 2 anzugeben, die es gestatten, die Testsubstrate 2 vollflächig zu halten und dabei eine beidseitige Inspektionsmöglichkeit des auf dem Chuck 1 fixierten Testsubstrats 2 zu bieten. Zur Lösung wird ein dünnes Testsubstrat 2 auf einer konvex gekrümmten Auflagefläche 5 aufgelegt und gehalten.