发明名称 |
Vorrichtung zum Abstapeln von scheibenförmigen flachen Substraten |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE202010005117(U1) |
申请公布日期 |
2010.07.29 |
申请号 |
DE201020005117U |
申请日期 |
2010.04.16 |
申请人 |
JONAS & REDMANN AUTOMATIONSTECHNIK GMBH |
发明人 |
|
分类号 |
B65B5/04;B65B5/10;B65D85/86;H01L21/677 |
主分类号 |
B65B5/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|