一种构造铁电薄膜材料表面形貌的方法

摘要

本发明属于微电子技术领域，具体为一种构造铁电薄膜材料表面形貌的方法。它利用纳米压印技术构造铁电薄膜材料表面形貌的同时，使得被压印铁电材料的电畴自发极化方向取向有序化。而且电畴自发极化方向取向有序化程度可由应力大小来控制。相比于传统的依靠外加电压控制铁电材料电畴自发极化方向取向的方法，本发明方法具有方便，有效的优点，可以广泛应用在铁电存贮器(FeRAMs)、微电子机械系统(MEMS)及光电子等领域。

主权项

一种构造铁电薄膜材料表面形貌的方法，其特征在于通过压印技术加压力于铁电薄膜材料，在构造铁电薄膜材料表面形貌的同时实现铁电薄膜电畴自发极化方向取向有序化分布，具体的步骤包括：(1)在衬底上淀积铁电薄膜材料；(2)用表面具有一定形貌的压印模具压印铁电薄膜材料，在铁电薄膜材料表面形成相应形貌；(3)对被压印过的铁电薄膜材料进行热退火。