检测方向与参考轴倾斜的多轴MEMS陀螺仪及其读出电路

摘要

检测方向与参考轴倾斜的多轴MEMS陀螺仪及其读出电路，所述多轴陀螺仪具有微电子机械结构(10)，所述微电子机械结构(10)具有参考轴(x，y)，沿着参考轴要检测的角速度(Ωx，Ωy)起作用，还具有检测元件(22a-22d)，它们在相应检测方向(x1，x2)敏感，并产生作为所述角速度在所述检测方向的投影的函数的相应检测量；所述读出电路产生电子输出信号(OUT)，每一个信号与所述角速度中相应的一个相关，并作为所述检测量的函数。组合级(32，32’)相对彼此电组合与检测量相关的电量，所述检测量由对于相互不同的检测方向敏感的检测元件生成，以便考虑所述检测方向相对于所述参考轴的非零倾斜角(Φ)。

主权项

一种用于设有微电子机械结构(10)的多轴陀螺仪(52)的读出电路(30，30’)，所述微电子机械结构具有参考轴(x，y)和沿着相应检测方向(x1，x2)敏感的检测元件(22a-22d)，要检测的相应角速度(Ωx，Ωy)被设计为沿着所述参考轴起作用，所述检测元件(22a-22d)被设计为生成作为所述角速度在所述相应检测方向(x1，x2)投影的函数的相应检测量；所述读出电路(30，30’)被配置为基于所述检测量，生成电输出信号(OUT)，每个信号与所述角速度(Ωx，Ωy)中相应的一个相关，其特征在于包括组合级(32，32’)，所述组合级(32，32’)被配置为将与由沿着相互不同的检测方向敏感的检测元件(22a-22d)生成的检测量相关的电量电组合在一起，以便考虑所述检测方向(x1，x2)相对于所述参考轴(x，y)的非零倾斜角(Φ)。