批式沉积工具及压缩晶舟

摘要

本发明的态样包含用于批处理基材的方法与设备。在一实施例中，一压缩晶舟是配置用以降低一批式处理室中的泵气容积(pumping volume)。该压缩晶舟包含一固定式晶舟与一活动式晶舟，其各自可独立地装载或卸载基材。该活动式晶舟与该固定式晶舟可相互交错穿插，得以减缩该些基材之间的距离。在另一实施例中，一具有活动式基材固持件的晶舟是配置用来在不显著增加抽气容积的情况下提供多个基座。该活动式基材固持件可于远离该具有多个基座的晶舟处装载或卸载。该活动式基材固持件衔接至该晶舟，使得固持件上的基材与所述基座互相交错穿插。本发明的多个实施例可缩减抽气容积并提高产能，因而降低批处理制程的拥有成本。

主权项

一种位于一批式处理室中的压缩晶舟，其包含：第一晶舟，配置用以接受与支撑多个基材于多个第一平行平面上；第二晶舟，配置用以接受与支撑多个基材于多个第二平行平面上；以及连接机构，配置用以可活动地连接该第一晶舟与该第二晶舟，以及在开启状态与关闭状态之间移动该压缩晶舟；其中，在该关闭状态中，所述第一平行平面与所述第二平行平面相互交错穿插；以及于该开启状态中，该第一晶舟与第二晶舟独立地装载与卸载。