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发明名称
摘要
申请公布号
JP4513249(B2)
申请公布日期
2010.07.28
申请号
JP20010303199
申请日期
2001.09.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/768;H01L21/3205;H01L23/52;H01L23/522
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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