基片清洗容器

摘要

一种基片清洗容器由内容器，外容器构成。内容器用于存储基片的清洗液体，外容器用于存储内容器溢出的清洗液体及清洗液体的循环。在内容器内壁下方两侧斜面上安装二组清洗液体喷嘴，供给内容器清洗液体。清洗液体的流向有利于基片支撑架内侧和基片清洗容器底部的小颗粒和杂质随清洗液体排出，提高了设备的清洗效果，从而提高设备的生产效率。

主权项

一种基片清洗容器，其特征是该基片清洗容器包括：内容器，用于存储基片的清洗液体；外容器，用于存储内容器溢出的清洗液体及清洗液体的循环；以及二组清洗液体喷嘴，用于供给内容器清洗液体；其中，外容器安装在内容器外壁上方，清洗液体喷嘴安装在内容器内壁下方两侧的斜面上。