一种双臂玻璃基板搬运机器人

摘要

本发明属于工业用机器人技术领域，涉及一种双臂玻璃基板搬运机器人。其特征是包括Z轴I、θ轴II、R1轴III、R2轴IV、R1轴末端执行器V及R2轴末端执行器VI，具有四个自由度，可实现Z轴升降运动、θ轴旋转运动和R1轴、R2轴直线伸缩运动；各轴运动相互独立，θ轴和R轴采用谐波减速器减速，提高了定位精度；R1轴末端执行器V和R2轴末端执行器VI采用真空夹持技术，其运动中心线位于同一垂直平面内，提高了传输效率。本发明具有结构紧凑、控制容易、运行平稳、运动惯量小、定位精度和传输效率高等特点。

主权项

一种双臂玻璃基板搬运机器人，包括Z轴(I)、θ轴(II)、R1轴(III)、R2轴(IV)、R1轴末端执行器(V)及R2轴末端执行器(VI)，具有四个自由度，Z轴(I)为升降机构，θ轴(II)为旋转机构，R1轴(III)和R2轴(IV)均为直线伸缩机构，安装在Z轴(I)的升降平台(6)上；升降平台(6)上方设旋转平台(24)，R1轴(III)和R2轴(IV)安装在旋转平台(24)上；其特征在于： Z轴(I)包括升降电机(5)、传动机构(2、3、4)、滚珠丝杠副(8、9)、两组直线导轨副(11、12)、螺母座(7)、滑块座(13)及升降平台(6)；两组直线导轨垂直固定在左侧板(16)、后侧板(15)上，滚珠丝杠(9)通过丝杠支架(1)垂直固定在上顶板(10)、下底板(14)间，且与两组直线导轨(11、12)形成等腰梯形；升降电机(5)通过传动机构与滚珠丝杠(9)相连，丝杠螺母(8)、导轨滑块(12)分别通过螺母座(7)、滑块座(13)与升降平台(6)相连； θ轴(II)包括旋转电机(18)、θ轴谐波减速器(19)、内轴(21)、外轴(20)、外筒(22)和旋转平台(24)；外筒(22)固定在升降平台(6)上，外轴(20)固定在外筒(22)上，θ轴谐波减速器(19)与旋转电机(18)固定在外轴(20)上，内轴(21)通过一对正装的圆锥滚子轴承与外轴(20)相连，旋转平台(24)固定在内轴(21)上，旋转电机(18)输出轴通过θ轴谐波减速器(19)与内轴(21)相连； R1轴(III)和R2轴(IV)结构相同，均包括驱动电机(31)、谐波减速器(23)、谐波减速器座(30)、中心轴(29)、轴承连接板(28)、大臂(25)和 小臂(27)；谐波减速器座(30)固定在旋转平台(24)上，驱动电机(31)与谐波减速器(23)轮固定在谐波减速器座(30)上，中心轴(29)通过一对深沟球轴承与谐波减速器座(30)相连，大臂(25)固定在中心轴(29)上，且大臂(25)通过轴承连接板(28)、交叉滚子轴承与旋转平台(24)相连；大臂(25)通过一级行星轮系(32)与小臂(27)相连，小臂(27)设有二级行星轮系(33)； R1轴末端执行器(V)与R2轴末端执行器(VI)结构相同，包括放大器(34)、过渡板(26)、气路盖板(36)、真空吸盘(37)、执行器体(35)、传感器线盖板(38)、导杆(39)和防撞块(40)；放大器(34)经执行器体(35)、过渡板(26)与R1轴(III)相连，气路盖板(36)、真空吸盘(37)和传感器线盖板(38)固定在执行器体(35)上，防撞块(40)经导杆(39)与执行器体(35)相连。