发明名称 |
影像显示系统及其制造方法 |
摘要 |
本发明揭示一种影像显示系统及其制造方法。此影像显示系统包括薄膜晶体管装置,其包括:覆盖于基板的第一区及第二区的第一绝缘层、位于第一区且设置于基板与第一绝缘层之间的第一多晶硅有源层、位于第二区且设置于第一绝缘层上的第二多晶硅有源层、设置于第一多晶硅有源层上方的多晶硅栅极层、覆盖多晶硅栅极层以及第二多晶硅有源层的第二绝缘层、以及设置于第二多晶硅有源层上方的金属栅极层。 |
申请公布号 |
CN101789434A |
申请公布日期 |
2010.07.28 |
申请号 |
CN200910001110.9 |
申请日期 |
2009.01.22 |
申请人 |
统宝光电股份有限公司 |
发明人 |
刘侑宗;李淂裕;万德昌;陈国照;张美玲 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
一种影像显示系统,包括:薄膜晶体管装置,包括:基板,具有第一区及第二区;第一绝缘层,位于该第一区及该第二区且覆盖该基板;第一多晶硅有源层,位于该第一区且设置于该基板与该第一绝缘层之间;第二多晶硅有源层,位于该第二区且设置于该第一绝缘层上;多晶硅栅极层,设置于该第一多晶硅有源层上方的该第一绝缘层上;第二绝缘层,覆盖该多晶硅栅极层以及该第二多晶硅有源层;以及金属栅极层,设置于该第二多晶硅有源层上方的该第二绝缘层上,其中该第一多晶硅有源层、位于上方的该第一绝缘层与该多晶硅栅极层构成第一薄膜晶体管,而该第二多晶硅有源层、位于上方的该第二绝缘层与该金属栅极层构成第二薄膜晶体管。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业区 |