硅片切割废砂浆中固体的回收循环再生利用工艺

摘要

本发明提供了一种硅片切割废砂浆中固体的回收循环再生利用工艺，首先将硅片切割废砂浆原料进行固液分离，分离出固体碳化硅(SIC)，液体聚乙二醇(PEG)两块待处理；其中固体碳化硅经过清洗、配浆反应、精分、分级、干燥包装等流程从每吨废砂浆中可提取30％的符合硅片切割要求的碳化硅微粉。本发明能够及时处理硅片切割厂家所产生的砂浆废料，回收的碳化硅可直接供切割厂家循环使用，具有较好的经济与社会效益，为节约能源和环境保护做出贡献。

主权项

一种硅片切割废砂浆中固体的回收循环再生利用工艺，其特征在于：首先将硅片切割废砂浆原料进行固液分离，分离出固体碳化硅(SIC)和液体聚乙二醇(PEG)两块；其中固体碳化硅的处理的工艺包括以下步骤：(1)清洗：分离出来的固体碳化硅含有20％的残留聚乙二醇，根据聚乙二醇的水溶性特点我们用水对碳化硅进行清洗，清洗所产生的水放入专用水池，水池配有循环水泵进行水循环使用，达到一定浓度后进行蒸馏处理；(2)配浆：清洗好的碳化硅配上一定比例的水后充分进行搅拌；(3)精分：搅拌好的碳化硅的液进行分级处理、去除杂质，综合这道工序产生的水占全车间的80％，同样这部分水进入综合水池，过滤后回到车间配浆回用；(4)干燥包装：洗干净的碳化硅通过加热烘干包装；(5)分级包装：分出不同粒号的碳化硅微粉进行分号包装。