发明名称 | 用于熟化制程的夹持装置及方法 | ||
摘要 | 一种夹持装置其包含上压板、下压板、夹具本体、升降单元及弹力调整单元。该下压板用来承载产品。该升降单元用来使该夹具本体及该上压板下降,这样该上压板及下压板分别由上下施压该产品。该弹力调整单元的两端分别固定于该上压板与该夹具本体上,其提供使该上压板平压该产品的弹力。 | ||
申请公布号 | CN101123202B | 申请公布日期 | 2010.07.28 |
申请号 | CN200610111025.4 | 申请日期 | 2006.08.09 |
申请人 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 发明人 | 张嘉铭 |
分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 翟羽 |
主权项 | 一种夹持装置,其应用于一产品的胶封材料的熟化制程,该夹持装置包含一个上压板、一个用以承载该产品的下压板、一个夹具本体以及用以使该夹具本体及该上压板下降的一个升降单元,这样该上压板及下压板分别由上下施压该产品;其特征在于:其还包括一弹力调整单元,其两端分别固定于受该升降单元调整下降的该夹具本体与伴随该夹具本体下降的该上压板,用以提供一弹力使该上压板平压该产品,其中该弹力调整单元因该升降单元调整升降而调节弹力。 | ||
地址 | 中国台湾高雄楠梓加工区经三路26号 |