绝对位移检测方法和使用该方法的绝对位移传感器

摘要

一种绝对位移传感器1包括：用作检测对象的传感器外壳2；质量为m的质量体3，该质量体3由传感器外壳2以弹簧系数k和阻尼系数c可动地支承；检测装置4，该检测装置4电检测传感器外壳2相对于质量体3的相对速度；反馈控制装置5，该反馈控制装置5分别通过正反馈相对位移、以及通过负反馈通过对检测到的相对速度求一次微分而获得的相对加速度来控制可因传感器外壳2的绝对位移引起的质量体3的绝对位移；以及相位滞后补偿装置6，该相位滞后补偿装置6相对于相对位移执行相位滞后补偿。

主权项

一种绝对位移检测方法，包括以下步骤：对检测对象相对于质量体的相对速度进行检测，所述质量体由所述检测对象以预定弹簧系数和预定阻尼系数支承；分别通过正反馈对所检测到的相对速度求积分而获得的相对位移、以及负反馈对所检测到的相对速度求一次微分而获得的相对加速度来控制因所述检测对象的绝对位移引起的所述质量体的位移；以及根据相对位移获得所述检测对象的所述绝对位移，其中通过所述积分获得的所述相对位移在所需频率区域中被相位滞后补偿。