超精密光纤光栅位移传感器

摘要

本发明公开了一种超精密光纤光栅位移传感器，其特征是设置被固定的测头壳体，测头壳体为一筒状体，筒状体的底部为敞口，在敞口端面上，沿径向设置有一横梁；测杆是由相互平行的上片簧和下片簧固定在测头壳体的内侧壁上，并保持测杆与测头壳体为同轴，组成平行片簧导轨；在测杆的顶端设置压簧；测杆的底端探出测头壳体，并且在探出测头壳体的测杆的底端固联有硬测头。本发明灵敏度很高、结构简单、成本较低，能实现在小范围内纳米级测微精度。

主权项

超精密光纤光栅位移传感器，其特征是：设置被固定的测头壳体(2)，所述测头壳体(2)为一筒状体，筒状体的顶部具有中心螺孔；筒状体的底部为敞口，在所述敞口端面上，沿径向设置有一横梁(12)；在所述测头壳体(2)的内部沿轴向设置一测杆(9)，所述测杆(9)是由相互平行的上片簧(3)和下片簧(4)固定在测头壳体(2)的内侧壁上，并保持测杆(9)与所述测头壳体(2)为同轴，组成平行片簧导轨；在所述测杆(9)的顶端设置压簧(6)，所述压簧(6)套装在测力调整螺母(5)上，所述测力调整螺母(5)以其外螺纹与所述测头壳体(2)的顶部中心螺孔螺纹连接，所述测力调整螺母(5)可以在所述中心螺孔中调整轴向位置；测杆(9)的底端探出测头壳体(2)，并且在探出测头壳体(2)的测杆的底端固联有硬测头(15)；设置一根处在测杆(9)的中轴位置上的光纤光栅(8)，连接有信号传输线(16)的光纤光栅(8)的顶端固定在测杆(9)的顶端，光纤光栅(8)的底端固联在横梁(12)上。