发明名称 | 用于非接触型电容式厚度测量的方法 | ||
摘要 | 一种用于对放置于电容器(C1、C2)的散射场(32)内的平面材料(10)进行非接触型电容式厚度测量、并同时测量平面材料和电容器极板之间的空气间隙(16)的宽度L的方法,其特征在于,对两个电容器(C1、C2)的电容gL、kL进行测量,其中电容器的散射场(32)在趋向平面材料(10)的过程中以不同的速率衰减,以及对于每个电容器(C1、C2),都根据测量到的电容gL、kL等于电容梯度g′、k′在平面材料(10)的厚度上的积分的条件,来确定平面材料(10)的厚度D和空气间隙(16)的宽度L。 | ||
申请公布号 | CN101790672A | 申请公布日期 | 2010.07.28 |
申请号 | CN200880104607.7 | 申请日期 | 2008.08.19 |
申请人 | 塑料控制有限公司 | 发明人 | 斯特凡·科纳曼;马库斯·施泰因 |
分类号 | G01B7/06(2006.01)I | 主分类号 | G01B7/06(2006.01)I |
代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 陈源;张天舒 |
主权项 | 一种用于对放置于电容器(C1、C2)的散射场(32)内的平面材料(10)进行非接触型电容式厚度测量、并同时测量所述平面材料和电容器极板之间的空气间隙(16)的宽度L的方法,其特征在于,对两个所述电容器(C1、C2)的电容gL、kL进行测量,其中所述电容器的散射场(32)在趋向平面材料(10)的过程中以不同的速率衰减,并且其中对于每个所述电容器(C1、C2),根据测量到的所述电容gL、kL等于电容梯度g′、k′在所述平面材料(10)的厚度上的积分的条件,来确定所述平面材料(10)的厚度D和所述空气间隙(16)的宽度L。 | ||
地址 | 德国雷姆沙伊德 |