发明名称 |
太阳能电池的制造方法 |
摘要 |
本发明的太阳能电池的制造方法是,所述太阳能电池包括:在设置于光入射侧的相反侧并作为功率取出电极发挥作用的背面电极与光伏电池之间配置的缓冲层、或者在多个光伏电池之间配置的中间电极,所述中间电极或者所述缓冲层由以ZnO为基本构成元素的透明导电膜构成。所述太阳能电池的制造方法包括:对包含所述透明导电膜的形成材料的靶施加溅射电压的同时,使所述靶的表面产生水平磁场来进行溅射,从而形成所述中间电极或者所述缓冲层的步骤,在形成所述中间电极或者所述缓冲层的步骤中,将所述溅射电压设为340V以下来进行溅射。 |
申请公布号 |
CN101790796A |
申请公布日期 |
2010.07.28 |
申请号 |
CN200880104843.9 |
申请日期 |
2008.09.17 |
申请人 |
株式会社爱发科 |
发明人 |
高桥明久;石桥晓;杉浦功;高泽悟 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
代理人 |
罗正云;王琦 |
主权项 |
一种太阳能电池的制造方法,所述太阳能电池包括:在设置于光入射侧的相反侧并作为功率取出电极发挥作用的背面电极与光伏电池之间配置的缓冲层、或者在多个光伏电池之间配置的中间电极,所述中间电极或者所述缓冲层由以氧化锌为基本构成元素的透明导电膜构成,其特征在于,所述太阳能电池的制造方法包括:对包含所述透明导电膜的形成材料的靶施加溅射电压的同时,使所述靶的表面产生水平磁场来进行溅射,从而形成所述中间电极或者所述缓冲层的步骤,在形成所述中间电极或者所述缓冲层的步骤中,将所述溅射电压设为340伏以下来进行溅射。 |
地址 |
日本神奈川县 |