无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法

摘要

无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法是一种结构非常简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波频率检测系统及其制备方法，该微电子机械微波频率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线(A)、一分三功分器(B)、共面波导传输线(C)、二合一功合器(D)、MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)和MEMS热电式微波功率传感器(F)：然后根据余弦定理就可以确定信号3在经过λ/2长度的共面波导传输线后和信号2的相位差。由于相位差与信号的频率是一一对应的，所以信号的频率也就可以测量出来。

主权项

一种无线接收式微电子机械微波频率检测系统，其特征在于该检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设有微波天线(A)、一分三功分器(B)、共面波导传输线(C)、二合一功合器(D)、MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)和MEMS热电式微波功率传感器(F)：微波天线(A)的输入端接待测微波信号，输出端接一分三功分器(B)的输入端，一分三功分器(B)的输出端分三路信号输出，第一路输出信号通过共面波导传输线(C)接MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)的输入端，MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)的输出端接MEMS热电式微波功率传感器(F)；一分三功分器(B)的第二路输出信号通过共面波导传输线(C)接二合一功合器(D)；一分三功分器(B)的第三路信号输出通过λ/2共面波导传输线(C)接二合一功合器(D)；二合一功合器(D)的输出端通过MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)接MEMS热电式微波功率传感器(F)。