| 发明名称 |
MULTI-STAGE PUMP ROTOR FOR TURBO-MOLECULAR PUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2209995(A1) |
申请公布日期 |
2010.07.28 |
| 申请号 |
EP20080804453 |
申请日期 |
2008.09.19 |
| 申请人 |
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH |
发明人 |
ENGLAENDER, HEINRICH |
| 分类号 |
F04D19/04;F04D29/32;F04D29/64 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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