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发明名称 PLASMA HEAD AND PLASMA PROCESSING SYSTEM FOR REMOVING PHOTORESIST AND METHOD OF REMOVING PHOTORESIST USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100972811(B1) 申请公布日期 2010.07.28
申请号 KR20080049207 申请日期 2008.05.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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