| 发明名称 |
SPECIMEN OBSERVATION METHOD AND MICROSCOPE, AND, FOR USE THEREIN, SOLID IMMERSION LENS AND OPTICAL CONTACT LIQUID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1679541(A4) |
申请公布日期 |
2010.07.28 |
| 申请号 |
EP20040793146 |
申请日期 |
2004.10.28 |
| 申请人 |
HAMAMATSU PHOTONICS K.K. |
发明人 |
ARATA, IKUO;SAKAMOTO, SHIGERU;TERADA, HIROTOSHI |
| 分类号 |
G02B21/00;G01N21/03;G01N21/88;G01N21/95;G01Q30/02;H01L21/66 |
主分类号 |
G02B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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