发明名称
摘要
申请公布号 JP4512176(B2) 申请公布日期 2010.07.28
申请号 JP20020563538 申请日期 2001.02.08
申请人 发明人
分类号 H01L29/06;B82B1/00;H01J1/304;H01J9/02;H01L21/28;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/66;H01L29/786;H01L43/08;H01L51/30 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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