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发明名称
METHOD FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION IN HIGH ASPECT RATIO SPACES
摘要
申请公布号
EP1897131(A4)
申请公布日期
2010.07.28
申请号
EP20050806199
申请日期
2005.06.28
申请人
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
发明人
XIE, YA-HONG
分类号
H01L21/36;H01L21/20
主分类号
H01L21/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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