一种等离子体化学气相沉积设备后的太阳能电池冷却装置

摘要

本实用新型涉及一种一种在等离子体化学气相沉积设备中对太阳能电池逐步冷却的装置，该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱、电池挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在三个冷却箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨上；所述的前面的冷却箱的温度设置为150℃，中间的冷却箱的温度设置为90℃，后面的冷却箱的温度设置为30℃；所述的传送导轨贯穿于三个冷却箱，并在冷却箱以后延伸出一段置于室温下，即直接在室温下对太阳能电池进行冷却。本实用新型能够对太阳能电池在等离子体化学气相沉积工序后逐步冷却，有利于太阳能电池的应力释放，保证了太阳能电池的性质稳定，不会有炸片的情况发生。

主权项

一种等离子体化学气相沉积设备后的太阳能电池冷却装置，其特征在于：该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱(1)、(2)、(3)、电池挂片箱(4)、传送导轨(5)，所述的传送导轨(5)设置在三个冷却箱(1)、(2)、(3)的上面，电池挂片箱(4)挂装在传送导轨(5)上。