具有优化的漂浮扩散的图像传感器及像素

摘要

本发明揭示了一种有源像素，其包括一设在半导体衬底内的感光元件。一传输晶体管设在感光元件与一漂浮扩散之间，其选择运作以将信号从感光元件传输至漂浮扩散。该漂浮扩散由剂量范围为5e13到5e14个离子/平方厘米的n-型植入形成。进一步包括一被漂浮扩散控制的放大晶体管。

主权项

一种有源像素，其包括：一设在半导体衬底内的感光元件；一设在所述感光元件与一浮动扩散之间的传输晶体管，该传输晶体管可选择性地将来自所述感光元件的信号传输至所述浮动扩散，其中，所述的浮动扩散是由剂量在5e13到5e14个离子/平方厘米之间的n-型植入形成的；以及一被所述浮动扩散控制的放大晶体管；所述的n-型植入是能改善所述浮动扩散的砷与磷的双重植入。