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发明名称
METHOD FOR IMPROVING UNIFORMITY AND REDUCING ETCH RATE VARIATION OF ETCHING POLYSILICON
摘要
申请公布号
EP1269529(B1)
申请公布日期
2010.07.28
申请号
EP20010920490
申请日期
2001.03.16
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
NI, TUQIANG;TAKESHITA, KENJI;CHOI, TOM;LIN, FRANK, Y.;COLLISON, WENLI
分类号
H01L21/3213;H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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