发明名称
摘要
申请公布号 JP4511186(B2) 申请公布日期 2010.07.28
申请号 JP20030555596 申请日期 2002.11.27
申请人 发明人
分类号 F27B9/24;H01L21/00;H01L31/04 主分类号 F27B9/24
代理机构 代理人
主权项
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