具耦合型与多向性的软性应力传感装置

摘要

一种具耦合型与多向性的软性应力传感装置，包括一软性基板、一支撑层、一薄膜基材、多个薄膜传感部、多个传感电极、多个传感块、多个凸块物、以及一填充物。支撑层设置在软性基板上，薄膜基材由支撑层所支撑，薄膜传感部由薄膜基材延伸而出，传感电极对应设置在薄膜传感部上，传感块对应涂布在传感电极上，而填充物包覆支撑层、薄膜基材、薄膜传感部、传感电极、以及传感块。

主权项

一种应力传感装置，包括：一基板；一支撑层，设置在该基板上；一薄膜基材，由该支撑层所支撑；多个薄膜传感部，由该薄膜基材延伸而出；多个传感电极，对应设置于在所述薄膜传感部上；多个传感块，对应设置在所述传感电极上；及一填充物，包覆该支撑层、该薄膜基材、所述薄膜传感部、所述传感电极、以及所述传感块。