薄膜材料微拉伸测试系统

摘要

本发明涉及一种薄膜材料技术领域的薄膜材料微拉伸测试系统，包括样品台、样品结构、驱动机构和测量观察装置。样品台中的金属底座被吸附在真空吸附台上，然后通过铆接固定在XYZθ移动平台上面；样品结构中的移动平台通过支撑弹簧和支撑架相连，薄膜试样的一端与移动平台相连，另一端固定在支撑架上，标杆位于移动平台上靠近薄膜试样的一端；驱动机构中的拉伸杆的一端与力学传感器连接，另一端与XYZ移动平台固定，电磁驱动马达与XYZ移动平台相连。本发明部件制备工艺简单，操作方便，成本低，具有很好的线性，并且克服了拉伸过程中由支撑梁塑性变形而引起的实验误差。

主权项

一种薄膜材料微拉伸测试系统，包括样品台、样品结构、驱动机构和测量观察装置，样品结构被固定在样品台上，右端与驱动机构相连，测量观察装置一部分置于样品结构的上方，其特征在于：所述样品台包括金属底座、XYZθ移动平台和真空吸附台，金属底座被吸附在真空吸附台上，真空吸附台通过铆接固定在XYZθ移动平台上面；所述样品结构包括支撑架、薄膜试样、标杆、支撑弹簧和移动平台，移动平台通过支撑弹簧和支撑架相连，薄膜试样的一端与移动平台相连，另一端固定在支撑架上，标杆位于移动平台上靠近薄膜试样的一端；所述驱动机构包括力学传感器、拉伸杆、电磁驱动马达和XYZ移动平台，拉伸杆的一端与力学传感器连接，另一端与XYZ移动平台固定，电磁驱动马达与XYZ移动平台相连。