Vakuumanlage mit mindestens zwei Vakuumkammern und einer Schleusenkammer zwischen den Vakuumkammern,申请号DE200810026314-传众专利搜索

发明名称	Vakuumanlage mit mindestens zwei Vakuumkammern und einer Schleusenkammer zwischen den Vakuumkammern
摘要
申请公布号	DE102008026314(B4)	申请公布日期	2010.07.22
申请号	DE200810026314	申请日期	2008.05.31
申请人	ROTH & RAU AG	发明人	SCHLEMM, HERMANN;SCHULZE, THOMAS
分类号	B65G49/07;H01L21/677	主分类号	B65G49/07
代理机构		代理人
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