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Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Kompensation einer kinematischen Abweichung eines Manipulatorsystems, das eine erste Teilkinematik (T_BS) mit wenigstens einem Freiheitsgrad (A1, ...A6) und eine zweite Teilkinematik (T_IB) mit wenigstens einem Freiheitsgrad (A7) aufweist, durch die eine manipulatorfeste Referenz (S) relativ zu einem Inertialsystem (I) bewegbar ist, umfasst die Schritte: (S10) Erfassen wenigstens einer ersten Position (T_SK1-1, T_SK1-2, ...) der manipulatorfesten Referenz (S) relativ zu einer ersten Kalibrierreferenz (K1), deren Referenzposition (T_BK1) relativ zu einer Basis (B) der ersten Teilkinematik von der zweiten Teilkinematik (T_IB) des Manipulatorsystems unabhängig ist; und (S20) Kalibrieren der ersten Teilkinematik (T_BS → T_BS*) des Manipulatorsystems auf Basis der erfassten ersten Position (T_SK1-1, T_SK1-2, ...) der manipulatorfesten Referenz (S).
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