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发明名称
Elektromechanischer Micro-Kondensator mit variabler Kapazität und Verfahren zur Herstellung eines solchen Kondensators
摘要
申请公布号
DE602006014759(D1)
申请公布日期
2010.07.22
申请号
DE200660014759T
申请日期
2006.03.20
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人
CASSET, FABRICE
分类号
H01G5/04
主分类号
H01G5/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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