THIN FILM FORMING APPARATUS FOR FILM SHAPE,申请号KR20090092124-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	THIN FILM FORMING APPARATUS FOR FILM SHAPE
摘要
申请公布号	KR100971928(B1)	申请公布日期	2010.07.22
申请号	KR20090092124	申请日期	2009.09.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/20;H01L21/00	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
地址

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